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你知道电子显微镜是由哪些部分组成的吗?

提供 来源:      日期:2019年12月25日
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电子显微镜,英文名Electron Microscope(简称EM),经过50多年的发展已成为现代科学技术中不可缺少的重要工具。电子显微镜由镜筒、真空装置和电源柜组成。

 

电子显微镜技术的应用是基于光学显微镜。光学显微镜的分辨率为0.2μm,透射电子显微镜的分辨率为0.2 nm。也就是说,透射电子显微镜在光学显微镜的基础上放大了1000倍。

 

 

电子显微镜由镜筒,真空装置和电源柜组成。镜筒主要包括诸如电子源,电子透镜,样品架,荧光屏和检测器的部件。这些组件通常从上到下组装成圆柱体。

 

电子透镜用于聚焦电子,并且是电子显微镜镜筒中最重要的部分。通常,使用磁性透镜,有时使用静电透镜。它使用与镜筒轴对称的空间电场或磁场使电子轨迹朝该轴弯曲以形成焦点。

 

它的功能与光学显微镜中用于聚焦光束的光学透镜(凸透镜)的功能相同,因此被称为电子透镜。光学透镜的焦点是固定的,而电子透镜的焦点是可以调节的,因此电子显微镜没有像光学显微镜那样的可移动透镜系统。

 

大多数现代电子显微镜都使用电磁透镜。电子通过非常稳定的直流励磁电流通过带有极靴的线圈产生的强磁场聚焦。电子源由释放自由电子的阴极,栅极和使环中的电子加速的阳极组成。

 

阴极和阳极之间的电压差必须非常高,通常在数千伏特和300万伏特之间。它可以发射并以均匀的速度形成电子束,因此要求加速电压的稳定性不小于十分之一。可以将样品稳定地放置在样品架上,并经常用于更换样品(例如移动、旋转、加热、冷却、拉长等)。

 

检测器用于收集电子或辅助信号。真空装置用于确保显微镜中的真空状态,以使电子不会在其路径上被吸收或偏转。它由机械真空泵,扩散泵,真空阀等组成,并通过排气管连接到镜筒。动力柜由高压发生器,励磁电流稳定器和各种控制单元组成。

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